国家标准GB/T 44935-2024《纳米技术 二硫化钼薄片的层数测量 拉曼光谱法》正式发布

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国家标准GB/T 44935-2024《纳米技术 二硫化钼薄片的层数测量 拉曼光谱法》正式发布，将于2025年7月1日起实施。该标准由中国科学院半导体研究所牵头制定，为利用拉曼光谱法精确测量二硫化钼(MoS2)薄片层数提供了科学可靠的依据和标准化试验方法。

MoS2薄片作为一种重要的二维层状材料，其层数直接影响其光电性能。单层MoS2具有直接带隙和高发光效率，在光电器件领域应用广泛；而多层MoS2则在电子器件中更具优势。因此，快速准确地测定MoS2薄片层数至关重要。

拉曼光谱法因其快速、无损和高灵敏度的特点，成为测定二维材料层数的理想方法。本标准借鉴了GB/T 40069-2021《纳米技术 石墨烯相关二维材料的层数测量 拉曼光谱法》的经验，但针对MoS2薄片的特性进行了改进和补充。

该标准提供了三种独立且可验证的拉曼光谱测量方法：

A法：基于剪切模和层间呼吸模的峰位； B法：基于E2g1模和A1g模的峰位差； C法：基于氧化硅片衬底的硅拉曼模峰高。

表1 三种拉曼光谱测量方法对比

图1 三种拉曼光谱测量方法原理图：(左) A法；(中) B法；(右) C法。

本标准适用于面内尺寸≥2 µm的2H堆垛本征MoS2薄片，涵盖了样品制备、仪器参数、表征步骤和层数判定等方面，并提供了具体的测量实例。用户可根据实际情况选择一种或多种方法进行综合判定。

该标准的发布，将有效提升MoS2薄片材料的质量控制水平，推动其在纳米技术和二维材料产业中的应用和发展。

标准归口单位：TC279（全国纳米技术标准化技术委员会） 主管部门：中国科学院 主要起草单位：中国科学院半导体研究所、河北大学、泰州巨纳新能源有限公司、东南大学、厦门凯纳石墨烯技术股份有限公司、堀场（中国）贸易有限公司、中国科学院物理研究所、天津大学、国家纳米科学中心 主要起草人：谭平恒、刘雪璐、林妙玲、李晓莉、丁荣、章琦、倪振华、黄卫明、沈婧、杨洋、何清、高洁、邵悦

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